真空度测试仪 库存 库号：D25257 真空度测试仪 库存 库号：D25257 真空度测试仪 型号:YH35-DF_25257库号：D25257
真空度测试仪是真空灭弧室的真空度的鉴定设备。它以单片计算机为主控单元，测试过程实现自动化。该仪器在原理上改变了外同类产品采用电流峰值做标定的方法，而采用离子电荷来做标定。这样，在物理原理上有的准确性，而且，地抑制了测试过程中脉冲电源的干扰，使测试稳定。 该仪器采用两次采样的方法扣除由于环境因素产生的漏电电流，并且在测量过程中考虑了漏气的真空灭弧室的判别，真正做到了对安装于整机上的真空灭弧室的准确计量。目前，该仪器中已存有26条真空灭弧室的测量标准曲线。 1、基于电离电荷的采样 真空度测试仪均采用基于电离电荷的采样。我厂在磁控放电的研究中发现：在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时,真空灭弧室里的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系,而与电离电流的峰值仅有概率上的相关性。基于电离电荷的采样，提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。 2、漏电电流的处理 对处于分断状态的真空灭弧室两端加高压时，会有数值不等的几个微安的漏电电流，此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室，由于其周边的绝缘支撑件也有漏电，这些漏电的总和有大的不稳定性和不可预测性，并且在数值上与10E-4Pa数量级的真空灭弧室的电离电流相当。我们采用两次起动高压的方法，扣除了漏电电流，保证了无论是装于整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。 参数 1.真空度测量范围： 9.999×10-1～1×10-5 2.离子电流测量范围： 9.999×10-1～1×10-7 3.测 量 误 差： ＜5% 4.测 量 分 辨 率： 10-5pa 5.允许环境温度： -20℃～50℃ 6.空 气 湿 度： ≤80%RH 7.电 源： AC，220V，50Hz±10% 8.外 型 尺 寸： 420×290×210（mm） 9.高 压 输 出： 脉冲≤30kV15kHz ⒑重 量： 8kg
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