质量流量控制器 库存 库号:D404976 质量流量控制器 库存 库号:D404976 D07-7是热式质量流量计，质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以测量气体的质量流量 。D07-7产品是基础款产品，能满足大多数客户流量测控基本需求。 流量量程 0~5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm 产品精度±1.5％F.S. 重复精度±0.2% FS 线性±1％F.S. 响应时间≤10sec 气特性≤4sec 工作温度范围(5~45)°C 耐压3MPa 输入输出信号(0~+5)VDC 电源±15V 阀类型常闭 温度系数 零点飘移指标- 无 - 电气连接D sub 15 pins Female 工作压差范围(0.1～0.5) MPa 漏率1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） 标准接头形式双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8",φ4(内)×1软管接头,VCR1/4",双卡套1/4",φ6(内)×1软管接头 表面化学成分- 无 - 表面粗糙度- 无 - 抗电磁干扰CE 重量 1.1kg |
