半导体微型气体质量流量计 库存号:M110042 半导体微型气体质量流量计 库存号:M110042
材质:不锈钢 精度等级:1 适用介质:气体 款式:电子带数显 公称直径:6mm 工作压力:3Mpa 流量测速范围:0---30SLMkg/h 工作温度:5-65℃℃ 介质:氧气 流量范围:750-3000SCCM 供电:DC24V 输入输出:0-5v或者4-20mA 显示:LCD 通讯:RS485 精度:±1%FS 压差范围:0.05Mpa-0.3MPa 进口压力:≤3Mpa 温度:5-65℃ 连接:1/4卡套接头 氮气标定量程 微小气体质量流量控制器应用范围 应用领域应用到热处理,半导体,真空设备,,分析仪器,光电,制气,医疗,化工,锅炉等各个领域。 微小气体质量流量控制器原理 采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量,可以不受温度压力的影响,将传感器测得的流量信号进行放大,然后与设定的电压进行比较,用所得的差值信号去驱动控制调节阀门,闭环控制流过通道的量使之与设定的流量相等。 微小气体质量流量控制器产品 1.多气体、多量程、高精度、快反应。 2.重复性好,稳定性高,高。 3.工作压力范围宽,使用寿命长。 4.本地显示,高清晰液晶屏数字、模拟量输入输出。 微小气体质量流量控制器安装注意事项: 测量介质:气体净化,切忌粉尘、液体和油污。 工作压差:要特别注意工作介质的气压,应注意使控制器进出气口两端的工作压差保持在指标范围之内。工作压差不在规定的范围内,流量将无法关闭或调小。在使用大流量的质量流量控制器时,要注意适当加粗管道和减小气源内阻,若工作压差小于要求值,有可能流量达不到满量程值。(建议客户:在进出口处安装压力表)
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