气体质量流量控制器 库存 库号：M390287 气体质量流量控制器 库存 库号：M390287
产品特点 安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使 用,也可通过模拟数字信号转换器( AD/DA转换器)配合使用。 流量规格(N2标定) 0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM 0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM 注:满量程流量不限于此处列出的流量规格,可以在5SCCM ~ 30SLM范围内任选,例如123SCCM。 输入输出信号 0~ +5.00V (输入阻抗大于100kQ ,输出电流不大于3mA) 流量规格1:（N2)产品特点 本产品具有稳定、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点,安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使 用,也可通过模拟数字信号转换器( AD/DA转换器)配合使用。 流量规格(N2标定) 0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM 0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM 注:满量程流量不限于此处列出的流量规格,可以在5SCCM ~ 30SLM范围内任选,例如123SCCM。 输入输出信号 0~ +5.00V (输入阻抗大于100kQ ,输出电流不大于3mA) 流量规格：0-5 10 20 30 50 100 200 300 500 SCCM 调节阀类型：常闭型 量程比：2-100%FS或者50:1 流量分辨率：0.1%FS 准确度：1%FS 小于15SLM 2%FS 大于15SLM 线性：0.5%FS 小于15SLM 2%FS 大于15SLM 重复精度：0.2%FS 相应时间：小于2S 工作压差范围：0.1-0.5MPA 小于10SLM 0.1-0.3MPA 大于10SLM 大耐压：3MPA 工作环境：5-45度 电缆接头：DB15pin(针形） 输入输出信号：0-5V（输入抗阻大于100K欧 输出电流不大于3MA） 供电电源要求：+15VDC 80MA -15VDC 2000MA
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