离子减薄仪 型号:WJ24-2102T 库号:M406702 查看hh 2102T 型离子减薄仪: 1.1 工作环境要求(Service Requirements) 1.1.1 电源(Electricity): 1.2kW AC 220 ~ 240V 50Hz 1.1.2 气源 (Gas): > 0.1MPa(1kg/cm2 ) 氩气 1.2 参数(specifications) 1.2.1 高压电源(High voltage supply×2): 0 ~ 10kV (连续可调,短路保护) 1.2.2 离子束电流(Total current): 0 ~ 1mA 1.2.3 离子束掠射角(Beam incidence angle): 0°~ 45°(双面) 1.2.4 自动保护(Auto-shutdown): 高压 (high voltage), 1.2.5 样品旋转 (specimen rotation) 1.2.6 抽真空速率(Pumping speeds): 分子加速泵 67L/min/ 隔膜泵 150L/m1.2.7 样品(Specimen×1): 3 毫米直径 (3mm diameter) 1.2.8 样品减薄速率: 40μ m/h(Cu) 1.2.9 重量及外形尺寸(Weight and size): 30kg,420mm×520mm×700mm
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